高純氣體色譜儀測試是痕量分析學科的一個分支。它是研究氣體純度分析與其中痕量雜質測定的一門范圍較窄但具有現實意義的專業學科。隨著我國經濟的高速發展，對高純氣不僅在數量上、質量上、種類上都不斷提出新的要求，而且對相應的國家標準、檢測理論、方法與檢測儀器的研究、研制與生產都提出了更高的要求。“超純氣體”一詞是在1964年全國超純氣體測試年會上定義的，即凡氣體純度達5個“9”（99.999%）以上，總雜質為10×10-6VV（即10ppm）以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。

　　高純氣體色譜儀具有各種*性而不可替代。如同時可檢測多個組分，分析時間短，操作簡便，分析技術靈活多變，價格低，能自動化檢測與計算機控制等優點，因而其產品受到廣大用戶的歡迎。目前用于純氣中雜質氣體分析的高純氣體色譜儀檢測器有如下幾種。

　　（1）熱傳導池檢測器（TCD）該檢測器的指標可以達到ppm級檢測。與變溫濃縮法配合可以檢測到ppb級，例如高純氫氣，超純氫的檢測可以測到0.1ppb（0.1x10-9VV）級。

　　（2）氣敏檢測器在檢測高純氮氣的國家標準（GB/T8980-1996）中用此檢測器可以檢測到此0.1ppm雜質氫氣。

　　（3）氫火焰離子化檢測器（FID）國家標準（GB/T8984.1-3-1997）氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳烴化合物的測定是利用火焰離子化法轉化后，直接測定，可檢測濃度0.1ppm。配合變溫濃縮可測到1ppb。

　　（4）改性離子檢測器（M-ArlD）將氬離子化檢測器改性后可以檢測高純氬中的氫、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳雜質氣，檢測濃度可到0.1ppm。

　　（5）氨離子化檢測器（HelD）該檢測器大多使用檢測高純氦氣中雜質氣體，直接檢測可到1ppb。也有與切換技術配合檢測其它高純氣中雜質氣。

　　（6）電子捕獲檢測器（ECD）該檢測器可以檢測高純氮氣、氬氣、一氧化碳等氣中的痕量氧（ppb級）。另外還有氧化鉆檢測器、離子遷移檢測器等。